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为大家详细的说说什么是爪式泵

2019/6/14    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

  爪式泵是为半导体工业展开而研制的,它有如下一些特征:泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生;抽气原件为非接触式的可完结高速作业(3000r/min);与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损;在泵腔内气流笔直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于打扫。



  该泵型式多样,功用可以扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有进口处防反流的阀门,出口处有截流阀,电气监控及报警装置;齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑,上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑。

  第二、三、四级均有净化气体进口,以改善被抽介质顺利通过泵腔,无此需求的可以不用通净化气体,净化气体用三个流量计分,别调度,互相都是独立的,以确保节约惰性气体,运用三个电磁阀可微调其流量。

  进口防返流阀能将被抽容器与泵腔距离,出口处截流阀能将泵的出口关闭起来,将泵通以净化气体,这些阀可自动开关,真空系统有可靠的保护,杜绝了向真空室的返流,电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的控制。

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