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干式真空泵如何进行优化选择?

2018/7/13    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

  干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然目前还没有使用,除了价格偏高之外,还有干式真空泵用户不到位,看不到经济效益带来的企业,在这里专注于如何使干式真空泵优化选择?

  有了这些不同类型的干式真空泵,我们一直都在渴望能够减小其物理尺寸。然而,这与真空泵的抽气速度相矛盾,因为真空泵的抽气速率与真空泵的体积成比例。小的物理尺寸意味着音量也很小。当然,影响真空泵抽速的另一个重要因素是速度。为了使小型真空泵的抽吸速度与大型真空泵的抽吸速度一致,需要提高速度。而要改变真空泵的转速有两种方法,一种是改变电源的频率,即使用变频器;二是改变变速箱的比例。其中,使用变频器的好处是可以提供一个闭环控制,但容易导致重载下的转矩损失。改变齿轮箱的齿轮比是一个非常经济的方法,当然它只能提供单一的速度不能被控制。

  现在,你可以看到干式真空泵有这么多不同的设计,各有各的特点和优缺点。历史上,使用成本一直是影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到,真空泵的稳定性也应该被考虑在内。因为真空泵意外错误会造成机器使用效率降低,影响晶圆的生产和交货,甚至造成晶圆废料和其他零件的加工损坏。由于螺杆设计采用单级设计,因此与多级泵(如球缝,爪和组合)相比,所用零件的数量可减少多达60%。这对稳定性和未来的维护成本来说是一个很大的优势。

  总的来说,如果用户认为耗电量对他来说是最重要的,那么选择一个内部加压螺钉可能是一个不错的选择,而氮含量对他来说是最不重要的。但总的来说,对尾气处理的要求越来越严格,减少未来使用的氮气量就显得尤为重要。如果您想要处理各种各样的半导体工艺,而不用一种简单的库存控制泵来改变它们,外部压紧螺丝是最好的选择。

  根据情况,结合以上所有设计类型的优势必须是最大的理想的选择,但还不可能。 因此,用户需要知道干泵的设计有多种不同的设计类型,然后根据自己的工艺特点来了解不同类型泵设计的影响。 这种选择可以使其使用成本最小化,并获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。

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